天源凈化專業凈化公司

總體設計

*一節　潔凈廠房位置選擇和總平面布置
　　*3.1.1條潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求并經技術經濟方案比較后確定：
　　　　一、應在大氣含塵濃度較低，自然環境較好的區域；
　　　　二、應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區域。如不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位于其大頻率風向上風側，或全年小頻率風向下風側；
　　　　三、應布置在廠區內環境清潔、人、貨流不穿越或少穿越的地段。
　　*3．1．2條對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現有振源的振動影響，并應與精密設備、精密儀器儀表允許環境振動值進行分析比較。
　　*3．1．3條潔凈廠房大頻率風向上風側有煙囪時，潔凈廠房與煙囪之間的水平距離不宜小于煙囪高度的12倍。
　　*3.1.4條 潔潔廠房與交通干道之間的距離不宜小于50米。
　　*3．1．5條 潔凈廠房周圍宜設置環形消防車道(可利用交通道路)，空氣凈化器****，如有困難時，可沿廠房的兩個長邊設置消防車道。
　　*3．1．6條潔凈廠房周圍的道路面層，應選用整體性好、發塵少的材料。

潔凈網- xr'ToyLBBb:lCH$u

　　*3．1．7條潔凈廠房周圍應進行綠化。可鋪植草坪、種植對大氣含塵農度不產生有害影響的樹木，并形成綠化小區。但不得妨礙消防操作。

生產制造過程的管理按其內容可分為生產系統的性能評價、生產計劃和車間層控制[2]。這幾個問題是相互關聯的，性能評價是評估現有系統（配置固定）的性能，而不是優化系統性能的某些指標，它常評價不同設備配置及瓶頸設備附加能力對生產線的影響，是生產計劃、車間層控制的重要輸入，也是優化系統配置的主要指導。生產計劃一般指高層長期生產能力的安排和分配。車間層控制是生產計劃的細化和實現，它將基于能力（工時）的較長期計劃轉化為實際工件的實時加工序列。一般來 說，空氣凈化器，車間層控制有兩類決策任務：一類是決定何時投入多少工件進入生產線，稱為投料策略，它涉及生產速率、生產能力現狀、實際定單情況、WIP 情況等問題，常和實時調度處理統籌考慮。另一類是安排生產線中各類工件在各類設備上的實際加工序列和開始時間，空氣凈化器，稱為實時調度策略，它涉及實時設備狀況、實時WIP情況以及產品的工序流程 [3]。本文對半導體晶圓制造車間層控制的內容和方法作一介紹

　單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內、區內的污染空氣以維持室內、區內的潔凈度。因此，其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內工藝過程產生的污染物，因此它們是主要關注的檢測項目。
　　非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內、區內的污染物以維持其潔凈度。因此，換氣次數越大，氣流流型合理，稀釋效果越**，潔凈度也相應提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區的送風量及相應的換氣次數，是主要關注的氣流測試項目。
　　為了獲得可重復的讀數，記錄各測點風速的時間平均值。
　　換氣次數：根據潔凈室總風量除以法凈室的容積求得

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