CS系列探針臺(tái)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：CS系列 探針臺(tái)造型小巧，測(cè)量精度高，操作方便，符合人機(jī)工程學(xué)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)。



目錄
一、產(chǎn)品介紹
二、工作環(huán)境
三、技術(shù)參數(shù)（特點(diǎn)及用途）
四、探針臺(tái)的安裝
五、探針臺(tái)配件
六、探針臺(tái)的使用
八、維護(hù)和保養(yǎng)






一、產(chǎn)品介紹
CS系列 探針臺(tái)造型小巧，測(cè)量精度高，操作方便，符合人機(jī)工程學(xué)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)。



二、工作環(huán)境
?探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上，較好是具有防震裝置的工作臺(tái)上，避免在高溫，潮濕激烈震動(dòng)，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。

?使用較佳溫度范圍為5℃～40℃，較佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。

?使用電源：220±10%，50~60Hz




三、技術(shù)參數(shù)：
1、主要性能參數(shù)：
規(guī)格
Chuck（可選）:	4" 或6" 不銹鋼，真空吸附型，獨(dú)立開關(guān)控制
Chuck X-Y軸行程，精度:	4" x4"，10um
Chuck 旋轉(zhuǎn)角度:	0~360 度
Chuck 旋轉(zhuǎn)角度微調(diào)精度:	0.01°
Chuck快速升降（選配）:	4mm 
Chuck微調(diào)升降（選配）:	4mm ，1um精度
Chuck 平整度:	5um
針座平臺(tái):	C型設(shè)計(jì)，可放置8個(gè)BT 型針座，可擴(kuò)展為O型平臺(tái)
針座平臺(tái)平整度:	5 um
顯微鏡Z軸行程，精度:	2"，細(xì)調(diào)精度0.1um
需求:
電力	220 VAC, 60Hz
?	
真空	-250 mmHg, 7 liter/min
?
尺寸:
320mm寬*320mm長(zhǎng)*400mm高（帶顯微鏡）
重 20 Kg（帶顯微鏡）

　
可選附件
激光切割
加熱臺(tái)
防震桌
顯微鏡暗場(chǎng) / DIC/Normarski 檢測(cè)
光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件
射頻測(cè)試探頭和線纜
有源探頭
低電流/電容測(cè)試
高壓測(cè)試
CCD視頻系統(tǒng)
液晶漏電分析套裝
屏蔽箱
鍍金Chuck






四、探針臺(tái)配件
1、體式顯微鏡  （可選配高倍率晶相顯微鏡）

產(chǎn)品參數(shù)和特點(diǎn)：
①　鑒別力高，視場(chǎng)范圍大，景深長(zhǎng)。
②　工作距離長(zhǎng)至115mm。
③　左右目鏡屈光度可調(diào)正負(fù)5度，能滿足不同視力的操作者觀察。
④　 能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習(xí)慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。
⑤　本顯微鏡為連續(xù)變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。
⑥　 雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm.

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：
產(chǎn)品造型比較新穎
機(jī)械特性優(yōu)越，操作舒適度高。
光學(xué)系統(tǒng)鑒別力達(dá)300線對(duì)以上，符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
**長(zhǎng)的工作距離位于國(guó)內(nèi)****
*有的3A設(shè)計(jì)
創(chuàng)見性人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì)，產(chǎn)品細(xì)節(jié)考慮全面。
3A特性：
密封性-------防塵,防油\防水污染
此種接口密封性設(shè)計(jì)能安全防塵\防油\防水或其它污染-----這就減少了常規(guī)的維護(hù),從而降低了總的費(fèi)用.
防霉性------使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境
此*有的設(shè)計(jì)**了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙
防靜電------防靜電設(shè)計(jì)可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標(biāo)本被損壞,**提高產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本
應(yīng)用領(lǐng)域：
教學(xué)示范，生物工程,IT產(chǎn)業(yè)檢測(cè)，材料分析等領(lǐng)域。





2、針座和探針夾具（可選）

針座規(guī)格	BT-200型	BT-100型	BT-40-T型	BT-40型
尺寸	90mmW x 130mmD x 90mmH	90mmW x 130mmD x 90mmH	52mmW x 96mmD x 76mmH	38mmW x 62mmD x 45mmH
重量 	1000 克	600 克	300克	200 克
精度	0.35 Micron	0.7 Micron	2 Micron	10 Micron
牙具	200牙/寸	牙具 100牙/寸	40牙/寸	40牙/寸
X-Y-Z線性行程	12mmX12mmX12mm	12mmX12mmX12mm	12mmX12mmX12mm	12mmX12mmX12mm

3、JVC模擬CCD 
特點(diǎn)：
?1/3寸CCD,44萬像素
?535電視線的水平分辨率
?0.7Lux的較低照度（F1.2，25%，AGC開啟）
?50dB的高信噪比（AGC OFF）
?內(nèi)置10bit 數(shù)字圖像處理器

Winfast XP100視頻采集卡  
特性：
1.1可選擇的影像來源信號(hào)
可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像
輸出設(shè)備，如錄放影機(jī)、家庭攝影機(jī)、雷射光碟機(jī)、
影音光碟機(jī)及CCD攝影機(jī)，提供*的解決方案。                        
1.2可編輯剪接影像片段
可以從輸入的影像來源做即時(shí)的動(dòng)態(tài)捕捉或靜態(tài)補(bǔ)捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或一般的圖形檔，再透過類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關(guān)應(yīng)用軟體，便可加入各種*與剪接編輯

4、探針夾具

●  彈簧式 
使用便利，可用于較短時(shí)間的大電流（**過1安培）穩(wěn)定性好，采用進(jìn)口同軸線纜，較高精度漏電為10PA，輸出BNC（male）接頭

●  管狀式
測(cè)量微弱電流用，同時(shí)可接高壓，采用進(jìn)口triax線纜，前端管裝屏蔽結(jié)構(gòu)，漏電小于100FA，高壓可耐1000V（需要配合屏蔽箱）


5、探針
美國(guó)GGB
型號(hào)	   針尖直徑	   針桿直徑	   針長(zhǎng)	     材質(zhì)	    根/盒


軟針類:適用于集成電路內(nèi)部線路點(diǎn)針


T-4-5 	   0.2 微米	     0.51mm	   51mm	    硬鎢材質(zhì)	     5
	0.2微米直徑的針須焊接于鎳質(zhì)針桿上	?
T-4-10 	   0.7 微米	     0.51mm	   51mm	    硬鎢材質(zhì)	     5
	0.7 微米針須焊接于鎳質(zhì)針桿上?	


硬針類:適用于集成電路電極點(diǎn)針


ST-20-0.5	1 微米	     0.51mm	   38mm      硬鎢材質(zhì)	     10
ST-20-1.0	2?微米	     0.51mm	   38mm	     硬鎢材質(zhì)        10
ST-20-2.0	5 微米	     0.51mm	38mm/20mm   硬鎢/鈹銅材質(zhì)    10
ST-20-5.0	10 微米      0.51mm	38mm/20mm   硬鎢/鈹銅材質(zhì)    10
ST-20-10	20 微米      0.51mm	38mm/20mm   硬鎢/鈹銅材質(zhì)    10
6、真空泵 
日東工器VP0125
規(guī)格：
?電壓：AC220V
?流量：7L/min            
?真空度：-60KPa 
?質(zhì)量：0.7Kg
功能
?提供真空動(dòng)力源。
?配合 CHUCK上的真空吸附孔來固定樣品。
?配合真空吸附型探針座，固定探針座。
特點(diǎn)
●無油靜音，特別適合實(shí)驗(yàn)室和潔凈室使用。
●7升/分鐘，可24小時(shí)無間斷運(yùn)轉(zhuǎn)。



7、防震桌      


特點(diǎn)：隔振支撐采用**薄復(fù)合材料氣囊、自定心準(zhǔn)無摩擦球頭擺桿和帶附加擴(kuò)散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動(dòng)水平，自動(dòng)充氣，全部氣動(dòng)執(zhí)行元件采用德國(guó)FEST0產(chǎn)品，靜音空氣壓縮機(jī)氣源、噪聲低。

應(yīng)用范圍：適用于對(duì)振動(dòng)要求高的場(chǎng)所。 如光電測(cè)量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。

技術(shù)參數(shù)：
臺(tái)面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)，采用ICR17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼
平臺(tái)表面粗糙度0.5?0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2?
固有頻率1.5 ~2 Hz
振幅小于1 um
重復(fù)定位精度±0.10 mm
工作壓力0.2~0.6(Mpa)


具體尺寸可根據(jù)客戶需求定制



8、屏蔽箱   
CINDBEST CB-6

參數(shù)和特點(diǎn)
?尺寸：880mm寬x710mm長(zhǎng)x1140mm高
?屏蔽光線和電磁干擾。
?匹配探針臺(tái)和防震桌設(shè)計(jì)。 
?與探針夾具配合可將測(cè)試電信號(hào)的漏電精度達(dá)到100fa ，可抗2000V高壓。
?屏蔽箱上配備轉(zhuǎn)接頭，便于在關(guān)閉屏蔽箱時(shí)線路在箱內(nèi)外的良好連接。
?上掀式結(jié)構(gòu)，節(jié)約空間，操作便捷。
?可根據(jù)客戶需求定制。





五、探針臺(tái)的使用

1、將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。

2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。

4、顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。

5、待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，最后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。



六、維護(hù)和保養(yǎng)

1、避免碰撞

?在安裝，操作CS探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。


2、儀器的運(yùn)輸

?儀器運(yùn)輸時(shí)，請(qǐng)先拔掉電源線插頭。
?儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。


3、儀器的存放

?使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械精密部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。
?探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。
?探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí)，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時(shí)易燃物，注意使用安全。
?停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí)，請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命. 
?操作人員必須嚴(yán)格按要求操作，以**數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。

        深圳市森東寶科技有限公司(Cindbest)致力半導(dǎo)體技術(shù)的共享事業(yè)，專注于促進(jìn)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的快速成長(zhǎng)，目標(biāo)為客戶提供較優(yōu)性價(jià)比的測(cè)試系統(tǒng)。目前設(shè)有半導(dǎo)體儀器營(yíng)銷事業(yè)部和半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠。 深圳市森東寶科技有限公司(Cindbest)是中國(guó)香港森東寶國(guó)際有限公司在大陸的全資子公司，集研發(fā)設(shè)計(jì)銷售和代理半導(dǎo)體測(cè)試儀表的綜合型廠家。研發(fā)設(shè)計(jì)的產(chǎn)品主要是CINDBEST品牌探針臺(tái)、激光修復(fù)儀。代理的產(chǎn)品主要有I-V/C-V參數(shù)測(cè)試儀，EMMI微光顯微鏡，電子顯微鏡，吉時(shí)利測(cè)試儀表，安捷倫測(cè)試儀表，YAG激光器。 深圳市森東寶科技有限公司宗旨：誠(chéng)實(shí)、務(wù)實(shí)、創(chuàng)新、互助、共贏 誠(chéng)實(shí)：公司以誠(chéng)實(shí)守信為立司之本，和客戶往來以誠(chéng)相待。 務(wù)實(shí)：公司員工皆以務(wù)實(shí)為指導(dǎo)精神，穩(wěn)打穩(wěn)扎，不斷提高產(chǎn)品及服務(wù)質(zhì)量。 創(chuàng)新：公司不斷與國(guó)內(nèi)外優(yōu)秀的制造商技術(shù)交流，結(jié)合國(guó)內(nèi)客戶實(shí)際使用情況進(jìn)行不斷創(chuàng)新。 互助：公司對(duì)外以互助為目標(biāo)，公司員工齊心協(xié)力，互幫互助為公司的共同目標(biāo)努力。 共贏：公司和客戶建立共贏關(guān)系，公司和員工建立共贏關(guān)系。 深圳市森東寶科技有限公司現(xiàn)服務(wù)于60多家研究所和高校。與高校、研究所、考古、半導(dǎo)體電子檢測(cè)等領(lǐng)域有著穩(wěn)定的合作關(guān)系。 深圳市森東寶科技有限公司以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品性能，高標(biāo)準(zhǔn)的售后服務(wù)迎得客戶的廣泛認(rèn)可，是行業(yè)內(nèi)較值得信賴的產(chǎn)品供應(yīng)與服務(wù)商．
 CINDBEST半導(dǎo)體儀器營(yíng)銷事業(yè)部代理的設(shè)備包括半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備：CINDBEST品牌探針臺(tái)和激光修復(fù)儀，代理keithleyI-V/C-V參數(shù)測(cè)試儀，agilent網(wǎng)絡(luò)分析儀，newwave激光系統(tǒng)，motic金相顯微鏡，EMMI微光顯微鏡，X射線，C-SAM超聲波，電子顯微鏡。目前已服務(wù)30幾家研究機(jī)構(gòu)和高校。
     找探針測(cè)試臺(tái)優(yōu)質(zhì)供應(yīng)商，探針測(cè)試臺(tái)生產(chǎn)廠全國(guó)、探針臺(tái)優(yōu)質(zhì)生產(chǎn)廠家，CV測(cè)試探針臺(tái)、IV測(cè)試探針臺(tái)、高頻測(cè)試探針臺(tái)、太陽能電池測(cè)試探針臺(tái)、積分球探針臺(tái)、電阻率測(cè)試探針臺(tái)、薄膜電阻測(cè)試探針臺(tái)、高低溫探針臺(tái)、高低溫真空探針臺(tái)、氣敏分析探針臺(tái)、低溫真空探針臺(tái)可以選擇我司，目前設(shè)有半導(dǎo)體儀器營(yíng)銷事業(yè)部和半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠。