簡(jiǎn) 介
 5635型MP離子風(fēng)棒，是對(duì)應(yīng)用在先端半導(dǎo)體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。
 特點(diǎn)：
 
 ? 采用在世界上**的電極材料單晶硅的優(yōu)勢(shì)，避免**低顆料特性的電極材料的重金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)。
 ? 通過(guò)*特的MP（脈沖調(diào)制）方式，可以有效的發(fā)揮離子除電性能。
 ? 平衡的電位，即使是在距100mm的距離也可用使用的特性及靜電桿長(zhǎng)且離子平衡度好。
 ? 通過(guò)智能控制電路，可自動(dòng)管理離子發(fā)生狀態(tài)及離子平衡度。
 ? 1/4圈可以拆卸更換電極，有助于減少維護(hù)工時(shí)。
 ? 電位波動(dòng)小的MP方式的特性，簡(jiǎn)化了組裝。另外，電位波動(dòng)小可以保持離子平衡度在管理的基準(zhǔn)內(nèi)。
 ? 設(shè)定了適合半導(dǎo)體前工序EFEM用的除靜電棒長(zhǎng)度。
 ? 內(nèi)置24V DC驅(qū)動(dòng)控制器的小巧緊湊型設(shè)計(jì)。
 ? 可用于**高層次網(wǎng)絡(luò)。
 
 產(chǎn) 品 規(guī) 格
 
 輸入電壓
 24V DC + / -10％
 輸出電壓
 較大可調(diào)至約13.5kv PP
 安裝距離
 100毫米?1000毫米（無(wú)空氣凈化）
 離子生成方式
 電暈放電法
 PM（脈沖變調(diào)）方式 變動(dòng)頻率　1 ～　33 Hz
 
 
 離子平衡度
 自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)方法
 <+/-10V內(nèi)離子風(fēng)棒直下 根據(jù)位置的不同會(huì)有差異<+/-10v
 (600 mm距離）
 電極
 單晶硅電極 可更換
 吹氣
 清潔干燥的空氣或氮?dú)?
 較大氣壓力
 310Kpa
 臭氧產(chǎn)生量
 <0.05PPM（24時(shí)總值）
 信號(hào)輸出
 報(bào)警IO 電極輸出
 
 尺寸
 高78mm*寬34mm*t長(zhǎng)（如下值）
 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750
 / 1900/2050/2200/2350Mm
 外觀
 ABS樹(shù)脂