LSM-500S
544系列—高精度非接觸測量系統

特點: LSM-500S
? 可測量直徑小至o5μm。
? **高測量精度，在全測量范圍(5μm-2mm)，內直線度達±0.3μm。
? **高重復精度達±0.03μm。

LSM-500S 技術參數
測量范圍: 0.005 - 2mm
分辨率: 0.00001 - 0.01mm 可選(.000001" - .0005") ( ): 英制／公制型
20 oC 時的直線度*:±0.3μm
重復精度 (±2σ): ±0.03μm
工件定位誤差: ±0.4μm
測量區域: 1x2mm
激光波長: 650nm, 可見光
掃描速度: 3200scans/s
激光掃描速度: 76m/s
激光可接收標準: IEC 或FDA
* 在測量區域中心

貨號: 544-531 (JIS)
544-532 (IEC+FDA)

LSM-501S
544系列—高精度非接觸測量系統

特點: LSM-501S
? **高測量精度，在全測量范圍(0.05mm-10mm) 內直線度達±0.5μm，窄測量 范圍內達±(0.3+0.1ΔD)μm。
? **高重復精度達±0.05μm。

LSM-501S 技術參數
測量范圍: 0.05 - 10mm
分辨率: 0.00001 - 0.01mm 可選(.000001" - .0005") ( ): 英制／公制型
20 oC 時的直線度*: 全范圍: ±0.5μm
窄范圍: ±(0.3+0.1ΔD)μm
重復精度 (±2σ): ±0.04μm
工件定位誤差: ±0.5μm
測量區域: 2x10mm (?0.05 - ?0.1mm)
4x10mm (?0.1 - ?10mm)
激光波長: 650nm, 可見光
掃描速度: 3200scans/s
激光掃描速度: 113m/s
激光可接收標準: IEC 或 FDA
* 在測量區域中心
ΔD= 校正規和工件的直徑差

貨號: 544-533 (JIS)
544-534 (IEC+FDA)

LSM-503S
544系列—高精度非接觸測量系統
特點: LSM-503S
? 多用途型，測量范圍從0.3mm - 30mm。
? 高測量精度，在全測量范圍內直線度達±1.0μm，在窄測量范圍內達 ±(0.6+0.1ΔD)μm高測量精度。
? 高重復精度達±0.1μm。

LSM-503S 技術參數
測量范圍: 0.3 - 30mm
分辨率: 0.00002 - 0.1mm 可選(.000001" - .005") ( ): 英制／公制型
20 oC 時的直線度*: 全范圍: ±1.0μm
窄范圍: ±(0.6+0.1ΔD)μm
重復精度 (±2σ): ±0.1μm
工件定位誤差: ±1.5μm
測量區域: 10x30mm
激光波長: 650nm, 可見光
掃描速度: 3200scans/s
激光掃描速度: 226m/s
激光可接收標準: IEC 或FDA
* 在測量區域中心
ΔD= 校正規和工件的直徑差
貨號: 544-535 (JIS)
544-536 (IEC+FDA)
544-531/544-532/544-533/544-534/544-535/544-536

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