這款薄膜厚度測量儀用于測量聚合物薄膜和光致抗蝕劑薄膜在加熱或制冷情況下薄 膜厚度和光學常量（n, k)的變化。為了這種特色的測量，我們特意研發了**的軟件和算法，使得該聚合物薄膜測厚儀能夠給出薄膜的物理化學指標：例如玻璃化轉變溫度 glass transition temperature (Tg), ，熱分解溫度thermal degradation temperature (Td) ，薄膜的厚度測量范圍也高達10nm--100微米。

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這套光學薄膜厚度測量儀在傳統薄膜測厚儀的基礎上添加了加熱/制冷的溫度控制單元，使用白光反射光譜技術（WLRS)，實時測量薄膜厚度和折射率，并通過**軟件記錄下這些數據。

這 套薄膜測厚儀,光學薄膜測厚儀,薄膜厚度測量儀能夠**實時給出薄膜厚度和薄膜光學常量等物理化學性能數據，并且能夠控制薄膜加熱和 制冷的速度，是聚合物薄膜特性深入研究的理想工具。所使用的軟件也適合薄膜的其他熱性能研究，例如：薄膜的熱消融/熱剝蝕thermal ablation研究，薄膜光學性質隨溫度的變化，薄膜預烘烤Post Apply Bake，光刻過程后烘烤 Post Exposure Bake對薄膜厚度的損失等諸多研究。

對于薄膜測厚儀,光學薄膜測厚儀,薄膜厚度測量儀要求薄膜襯底是透明的，背面是不反射的。它能夠處理較高4層薄膜的膜堆layer stacks，給出兩個參數：例如兩個薄膜的厚度或一個薄膜的厚度和光學常量。

這套薄膜測厚儀,光學薄膜測厚儀,薄膜厚度測量儀已經成功應用于測量不同聚合物薄膜的熱性能，光刻薄膜的熱處理影響分析，Si晶圓wafer上的光致抗蝕劑薄膜分析等。


標準參數
可測膜厚： 5nm-150微米；
波長范圍：200-1100nm
精度：0.5%
分辨率：0.02nm
測量點光斑大小：0.5mm
可測樣品大小：10-100mm
計算機要求：Windows XP, vista, Win7均可，USB接口；
尺寸：360x400x180mm
重量：13.5kg
電力要求：110/230VAC

薄膜測厚儀,光學薄膜測厚儀,薄膜厚度測量儀應用
聚合物薄膜測量
光致抗蝕劑薄膜測量
化學和生物薄膜測量，傳感測量
光電子薄膜結構測量
半導體制造
在線測量
光學鍍膜測量

孚光精儀公司是中國良好的進口**儀器供應商，擁有中國較為齊全的進口光學產品種類，龐大而**的國外生產商群體，和快捷*的國際貿易體系，是用戶信賴的**技術產品的旗艦型供服務商。

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公司受益于中國香港便捷的國際貿易條件以及上海和天津的輻射能力，形成覆蓋全國的**貿易和客戶服務體系。